1月26日，嘉庚创新实验室发布一则关于微纳制造中心启用的通知：嘉庚创新实验室-微纳制造中心于2021年1月27日启用，欢迎校内外用户预约使用！
微纳制造中心为嘉庚创新实验室公共支撑平台下设的子平台，位于厦门大学翔安校区能源材料大楼1号楼1层，设有超1000平米的百级、千级和万级超净实验区，根据工艺需求和特点，划分为7间实验室，包括薄膜沉积工艺、等离子刻蚀工艺、光刻键合工艺、电子束曝光、表征分析、后道工艺及清洗腐蚀实验区，一站式满足新材料微纳器件从器件设计、材料制备、图形加工到封装集成的整套研发需求，为开展材料与器件的工艺加工提供了先进的、功能完备的服务平台。
嘉庚创新实验室微纳制造中心位置
微纳制造中心一期购置设备19台，其中9台完成装机调试并启用，目前工艺可实现Si, SiO2及Si3N4的刻蚀加工，Cu, Ag, Au, Cr, Ti, Al, Pt等多种金属薄膜的蒸镀，SiO2, Al2O3, TiO2, TiN, AlN, HfO2等多种介质薄膜的沉积；表征分析可实现样品表面的起伏高度测试，3D形貌和数据分析及材料器件的IV、CV曲线等电学性能测试。
厦门市-厦门大学签约共建嘉庚创新实验室。资料图
一期设备配置
微纳制造中心的设备选型可兼容6英寸、4英寸、2英寸和不规则片，部分设备可兼容8英寸。一期设备设有：
① 薄膜沉积设备，包括电子束蒸发薄膜沉积系统、原子层沉积系统、电感耦合等离子体增强型化学气相沉积系统、化学气相沉积炉等；
② 光刻、刻蚀等图形化设备，包括电子束曝光系统、激光直写光刻机、晶圆掩膜对准光刻机、电感耦合等离子刻蚀机等；
③ 后道加工设备，包括晶圆级键合机、精密砂轮划片机、多功能焊线机等；
④ 表征分析设备，包括原子力显微镜、半导体器件测试探针台、自动型台阶薄膜应力测试仪、形状测量激光显微镜、金相显微镜等；
目前开放设备
*具体工艺能力及设备信息以管理员提供的资料为准；至少提前一天联系设备管理人员预约。
